پاورپوینت فلزکاری در نیمه هادی ها (pptx) 34 اسلاید

دسته بندی : پاورپوینت

نوع فایل : PowerPoint (.pptx) ( قابل ویرایش و آماده پرینت )

تعداد اسلاید: 34 اسلاید

قسمتی از متن PowerPoint (.pptx) :

فلزکاری در تکنولوژی نیمه هادی عناوین اصلی: مقدمه انواع فلزکاری لایه رسانا لایه عایق نوار فلزی نازک مقدمه دو مرحله اساسی در ساخت تراشه نیمه هادی ساخت ادوات فعال و غیرفعال روی سطح ویفر (FEOL front end of line.) افزودن لایه های مختلف و فلز برای اتصال ادوات (BEOL back end of line.) مقدمه معرفی فلزکاری فلزکاری بصورت کلی به فرایندی گفته می شود که طی آن ماده ای فلزی روی سطح ماده ای غیر فلزی نشانده می شود. از آنجاکه مواد غیر فلزی خاصیت رسانایی الکتریکی بسیار کمتری نسبت به فلزات دارند از این روش برای افزایش رسانایی سطح ماده می توان استفاده نمود نخستین فلزکاری به سال 1835 بر می گردد که سطح شیشه با نقره پوشانده شد تا آیینه درست شود. در الکترونیک روشی است برای سیم بندی و اتصال بخش ها و قطعات مدار به یکدیگر بیشترین کاربرد نوارهای نازک فلزی در الکترونیک اتصال ادوات مدار روی سطح نیمه هادی برای تکمیل فرایند ساخت تراشه یکپارچه ارتباط دهی درون و بیرون یک تراشه به یکدیگر ساخت فیوز مقدمه دو دسته کلی فلزکاری وجود دارد فلزکاری می تواند در یک لایه یا بیشتر انجام گیرد انتخاب تعداد لایه های فلزکاری به کارایی و پیچیدگی مدار بستگی دارد مقدمه مراحل فلزکاری یک لایه ویفر اولیه ابتدا پنجره هایی درون لایه عایق باز می شود و سپس فرایند آلایش (doping) صورت می گیرد تا بتوان با لایه زیرین ارتباط اهمی برقرار کرد مراحل فلزکاری یک لایه نشاندن یک لایه قطور فلز در تمام سطح ویفر مراحل فلزکاری یک لایه